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型号：BTF-1700C-CVD
设备特点：
此款1700℃高(gao)温(wen)条件(jian)CVD模(mo💜)式，是(shi)由1700度(du)(du)管式炉、三路线品质流量的(de)计(ji)模(mo)式、国产货(huo)高(gao)负压模(mo)式（或加(jia)装低负压模(mo)式）所主成。此设配(pei)具体用(yong)来:ღ负压或课堂气氛(fen)烧(shao)结工(gong)艺、基片镀晶等特殊要求(qiu)烧(shao)水条件(jian)温(wen)度(du)(du)较(jiao)高(gao)的(de)實(shi)驗所条件(jian). 设配(pei)技木(mu)(mu)成熟稳重、线品质稳定，温(wen)场匀称，组成部(bu)分合理有效，气路并选择(ze)液晶显示(shi)屏摸基本(ben)操作(zuo)(zuo)界(jie)面，表(biao)明基本(ben)操作(zuo)(zuo)不正确(que)简洁明了、方便简洁；设配(pei)的(de)四项技木(mu)(mu)参(can)数设置(zhi)，30段可程序语言温(wen)度(du)(du)控制器(qi)模(mo)式更多(duo)的(de)是(shi)显而易见,使一(yi)小部(bu)分實(shi)驗所的(de)工(gong)作(zuo)(zuo)情形尽(jin)在您(nin)的(de)撑握开展。
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供暖区(qu)性能参数(shu)： | 炉管外形(xing)尺(chi)寸(cun)：Φ60/80×1000mm（ꦯ管子尺(chi)寸(cun)可﷽以） 加熱器件：硅钼棒 加热区长度：300mm 推荐升温速度： 1400℃以下≤10℃/min，1400℃到1600℃≤5℃/min 特殊公(gong)率：5.2 KW 尺寸(cun)规格图尺寸(cun)规格：610×440×720 mm 规格设备：高纯1支，2对，1套，2套，1副，1支，小人身险1个； 密封(feng)带盖(gai)模(mo)式：炉管(guan)两(liang)端拥(yong)有不锈钢♏管(guan)密封(feng)带盖(gai)法兰部（包涵(han)精密仪器针阀(fa)，游针式机械泵(beng)心理安全阀(fa)和排水管(guan)式宝塔嘴管(guan)接(jie)头） 表(biao)层(ceng)可按现实情况用到(dao)发展。 |
气路系统参数：
| 质量流量计参考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可选） 准确度：±1.5% 线(xian)性：±0.5～1.5% 重复精(jing)度：±0.2% 响应时(shi)间：气(qi)特(te)性：1～4 Sec，电特(te)性：10 Sec 工作压差范围：0.1～0.5 MPa 大压力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 显(xian)示(shi)：4位数(shu)字显(xian)示(shi) 工作𝕴环境温(wen)度:5~45高纯气(qi)体 ; &nꦫbsp; 内外双抛不锈钢管：Φ6 压力(li)真空(kong)表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截(jie)止阀：Φ6 对金属(shu)接头(tou)类行：双卡套装(zhuang)饰(shi)管金属(🐷shu)接头(tou)。 可选配一路、两路、三路、四路、五路等以上质量流量计。 |
低真空系统参数：
| 国产车助力泵(beng)材(cai)质(zhi)：BSV-10 抽速：10m³/h 极限真空度：5*10-1pa 电源模块(kuai)：220v 50hz 同步电机(ji)耗油率：0.4kw 进排气(qi)阀衔接(jie)口：KF25 用(yong)剩余油量(liang)：1.1L 直流(liu)电(dian)机轉速：1440rpm 事(shi)情环(huan)镜体温：5-40℃ 吵音：≤56db 电阻真空计参数： 1.配些规管：ZJ-52T热敏(min)电阻规， 2.测量范围： 10 5 ～10 -1 Pa， 3.估(gu)测路数： 1路 4.控制范围： 5×10 3 ～5×10 -1 Pa， 5.把握措施：继(j🍷i)电子产品接点輸(shu)出，电动机扭矩工作能⛦力 AC220V/3A (或DC28V/3A)没什么(me)感觉电动机扭矩， 6.电源(yuan)模块： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 7.显卡(ka)功耗： 20W 进行波浪(lang)纹(wen)管速(su)腾(teng)自动档挡(🗹dang)꧟片阀(fa)与正空设计相(xiang)通接。 |
高真空系统参数：
| 的空气相对比较水分子含(han)量：≤85% 运行(xing)相电压：AC220V±10% 50/60HZ 电功率：1KW 系统整体极限真空度：10-5Pa 实验真空度：10-3Pa 外观形状长宽(kuan)：850×600×650mm 机械泵: 抽气强度：10m³/h 容油位：1.1L 交(jiao)流接触器工率：400W 极限压强：6×10-2Pa 分子泵: 抽气传输速率(lv)：100L/S 极限压强：6×10-6Pa 起动时：＜2min 额定功(gong)率(lv)转动速(su)度：4300转/分 冷却水(shui)的方法(fa)：场🎶景摄氏度5-32℃时，风冷；5-40℃时，水(shui༺)冷散(san)热。 分子泵控制器: 额定(ding)电(dian)压：220V±22V 开始电流量：≤7A 插入几率：47HZ—63HZ 大转换电(dian)率：≤150W 大速度电流：≤40V 加速度耗(hao)时：≤3min 率（双速）：高(gao)速的(de)705HZ±10HZ &n𒈔bsp; &nb🃏sp; 慢速(su)430HZ±5HZ 复合真空计: 预估路数：2路（阻值规、电离规各1路） 做(zuo)工作经(jing)济模式：手(shou)工/半(ban)自(zi)动 阻值单位参数指标 规管规格型号(hao)：ZJ-52T电阻值规 测量范围：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa 有效范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 控制范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 电离模快指标 规(gui)管机型：ZJ-27电离规(gui) 可测范围：5.0Pa~1.0×10-5Pa 有效范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa 控制范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa 规管(guan)除(chu)气(qi)手段：焦(jiao)耳去气(qi) 另外参数表 管理路数：4路 调节(jie)(jie)策略：点动或区调节(jie)(jie)/带(dai)掉电背诵(song) 掌控高精度：±1% 监测时光：1S 24v电(dian)源(yuan)：220V±10% 50HZ 输出功率：50W 用生活环境温差(cha)：0℃~45℃ 温度湿度：≤85% 连结管道阀门: 采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s 运用波浪纹(wen)管半自(zi)动(dong)档板阀与真空度整体(ti)相互接触接。 |
备注： | 可根据工艺要求选配低真空或高真空系统。 |
