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三独立智能型滑轨PECVD PECVD-III-500A-SSSL

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三独立智能型滑轨PECVD PECVD-III-500A-SSSL

  • 详细介绍

具(ju)体(ti)作用

 

    一、此专用(yong)(yong)设备的高温(wen)(wen)高压真空箱电(dian)(dian)阻器炉摄(she)氏度把控(kong)好(hao)体系用(yong)(yong)到了(le)(le)(le)特色的闭(bi)环掌控(kong)负(fu)跟进(jin)把控(kong)好(hao)体系,控(kong)温(wen)(wen)自(zi)动(dong)化(hua)(hua)仪器仪表(biao)选取自(zi)动(dong)化(hua)(hua)型(xing)(xing)流程(cheng)摄(she)氏度改善(shan)自(zi)动(dong)化(hua)(hua)仪器仪表(biao)控(kong)温(wen)(wen),供用(yong)(yong)电(dian)(dian)调配器把控(kong)好(hao);负(fu)债用(yong)(yong)到了(le)(le)(le)小(xiao)交流电(dian)(dian)压大(da)(da)感应电(dian)(dian)流把控(kong)好(hao),于(yu)是大(da)(da)从而提(ti)高了(le)(le)(le)升温(wen)(wen)部件的年(nian)限(xian),测温(wen)(wen)度部件用(yong)(yong)到了(le)(le)(le) K   型(xing)(xing)热偶(ou)。30段可编程(cheng)控(kong)温(wen)(wen),PID参数自(zi)整定,操(cao)作界面为(wei)10寸(cun)工控(kong)电(dian)(dian)脑,内置PLC控(kong)制程(cheng)序,可将温(wen)(wen)控(kong)系统、滑轨炉滑动(dong)(时间(jian)和距离)设定为(wei)程(cheng)序控(kong)制。同(tong)时系统设置了(le)(le)(le)超温(wen)(wen)、 欠温(wen)(wen)、断(duan)偶(ou)报警保护(hu)功能,大(da)(da)大(da)(da)降低了(le)(le)(le)对(dui)操(cao)作人员经验的要求(qiu),关键电(dian)(dian)气元件采用(yong)(yong)优(you)质(zhi)的进(jin)口产品(pin),做(zuo)到高性能、免(mian)维(wei)护(hu),提(ti)高了(l🅺e)(le)(le)设备质(zhi)量的可靠性。

二、PECVD是借(jie)助于辉光放(fang)电(dian)等方法产生(sheng)等离子体,辉光放(fang)电(dian)等离子♕体中:电(dian)子密度高109-1012cm3电子(zi)(zi)为了(le)满足电子(zi)(zi)时代发展(zhan)的(de)需求,实验(yan)室有(you)害气体(ti)温(wen)差(cha)比(bi)常规实验(yan)室有(you)害气体(ti)大分子(zi)(zi)温(wen)差(cha)高了(le)10-100倍,使含有(you)薄(bo)膜组成的(de)气态物质发生化学(xue)反应(ying)(ying),从而实现薄(bo)膜材料生长的(de)一种(zhong)新(xin)的(de)制备技(ji)术。通(tong)过反应(ying)(ying)气态放电,有(you)效地利用了(le)非(fei)平衡等离子(zi)(zi)体(ti)的(de)反应(ying)(ying)特(te)征,从根本上改变了(le)反应(ying)(ying)体(ti)系的(de)能量(liang)供给方式💛,低(di)温(wen)热等离子(zi)(zi)体(ti)化学(xue)气相沉积法具有(you)气相法的(de)所有(you)优点,工艺流程简单💦。

 

水平性能(neng)参数

 

机械总体构造

烧水原创

电阻器丝

额定的输出功率

 AC220V/380V   50/60HZ

电率

7KW

最高的人温差

1200℃

炉管尺寸规格

外径Φ60*2330mm

预热区的长度

230+230+230mm

控温方式方法

 

看不(bu)清PID有效把控好(hao)和(he)自(zi)🅘整定转(zhuan)换,智慧化30段可(ke)java开发🍰有效把控好(hao)。

触控屏远程控制画质

产品承重

约300KG

三温区滑槽炉


采暖器区间距

230mm+230mm+230mm

炉管尺寸

Φ60*2330mm  焊接钢管壁(bi)厚3mm

控温精确

±1°C   

控温原则

不清楚(chu)PID调整和自整定转(zhuan)换,网络(luo)化化30段可源(yuജan)程序(xu)调整,有超𝔍温(wen)和性(xing)断偶报警装(zhuang)置模块

密封盖形式

不銹钢(gang)真空环境(jing)蝶阀法兰胶封

rf射频24v电源

手机信号次数

13.56 MHz±0.005%

马力导出领域

5W-500W

微波射频输(shu)入(ru)音(yin)频接(jie)口

50 Ω, N-type, female

最大功率保持稳定度

±0.1%

谐波图像

≤-50dbc

空气冷却的方式

硬性风冷

机械泵这部分


进口水环真空泵

DRV-16

泵抽速

16m³/h

程度高压气

5X10-1Pa


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