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小三温区等离子体增强化学气相沉积系统 (型号:PECVD-IIIS-500A)

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小三温区等离子体增强化学气相沉积系统 (型号:PECVD-IIIS-500A)

  • 详细介绍

   常(chang)见亮(liang)点

 

BTF-1200C-IIIS-PECVD较(jiao)高(gao)(gao)环(huan)(huan)境(jing)(jing)室(shi)内湿(shi)度(du)进囗的(de)(de)(de)(de)(de)真空箱炉(lu)(lu)加熱(re)腔体并(bing)(bing)选择(ze)空气氧(yang)化铁玻纤(xian)纺织品(pin),其越来越低的(de)(de)(de)(de)(de)热导率(lv)和(he)比热容(rong)(rong),保(bao)证产品(pin)了(le)炉(lu)(lu)膛的(de)(de)(de)(de)(de)便捷升(sheng)柔和(he)低蓄热,尤(you)其适宜于(yu)(yu)科技探析单位名称的(de)(de)(de)(de)(de)的(de)(de)(de)(de)(de)材料生(sheng)产技术探析。加熱(re)pcb板(ban)(ban)并(bing)(bing)选择(ze)功率(lv)电(dian)阻值丝(si)加熱(re),有(you)好处于(yu)(yu)炉(lu)(lu)内环(huan)(huan)境(jing)(jing)室(shi)内湿(shi)度(du)场(chang)的(de)(de)(de)(de)(de)均衡(heng)分(fen)布图制(zhi)(zhi)作(zuo)(zuo)。较(jiao)高(gao)(gao)环(huan)(huan)境(jing)(jing)室(shi)内湿(shi)度(du)进囗的(de)(de)(de)(de)(de)真空箱功率(lv)电(dian)阻值炉(lu)(lu)环(huan)(huan)境(jing)(jing)室(shi)内湿(shi)度(du)控(kong)(kong)(kong)(kong)住软件(jian)(jian)并(bing)(bing)选择(ze)径典的(de)(de)(de)(de)(de)评议有(you)效(xiao)调(diao)节负(fu)评议控(kong)(kong)(kong)(kong)住软件(jian)(jian),控(kong)(kong)(kong)(kong)温(wen)(wen)仪容(rong)(rong)多功用(yong)仪表并(bing)(bing)选择(ze)智力型(xing)软件(jian)(jian)环(huan)(huan)境(jing)(jing)室(shi)内湿(shi)度(du)调(diao)仪容(rong)(rong)多功用(yong)仪表控(kong)(kong)(kong)(kong)温(wen)(wen),供用(yong)电(dian)熬制(zhi)(zhi)器控(kong)(kong)(kong)(kong)住;电(dian)动机扭矩并(bing)(bing)选择(ze)小工作(zuo)(zuo)电(dian)压大功率(lv)控(kong)(kong)(kong)(kong)住,因而有(you)效(xiao)的(de)(de)(de)(de)(de)从而提(ti)升(sheng) 了(le)发高(gao)(gao)烧pcb板(ban)(ban)的(de)(de)(de)(de)(de)使用(yong)期,测温(wen)(we🌌n)暖pcb板(ban)(ban)并(bing)(bing)选择(ze)K型(xing)热偶(ou)。并(bing)(bing)选择(ze)单管路温(wen)(wen)暖控(kong)(kong)(kong)(kong)制(zhi)(zhi)器仪才(cai)能自整定(ding)PID 技术指标(biao),不需要运作(zuo)(zuo)人群(qun)的(de)(de)(de)(de)(de)认知,可(ke)强制(zhi)(zhi)表明(ming)差异环(huan)(huan)境(jing)(jing)室(shi)内湿(shi)度(du)的(de)(de)(de)(de)(de)身材曲线(xian)的(de)(de)(de)(de)(de)升(sheng)、加温(wen)(wen)的(de)(de)(de)(de)(de)规范(fan)要求懂得(de)调(diao)整输出精度(du)网络信号(hao),互相软件(jian)(jian)设(she)置成了(le)超温(wen)(wen)、欠温(wen)(wen)、断偶(ou)提(ti)醒保(bao)護功用(yong),有(you)效(xiao)的(de)(de)(de)(de)(de)降底了(le)对(dui)(dui)运作(zuo)(zuo)人群(qun)工作(zuo)(zuo)经验的(de)(de)(de)(de)(de)的(de)(de)(de)(de)(de)规范(fan)要求,根本电(dian)气公司pcb板(ban)(ban)并(bing)(bing)选择(ze)高(gao)(gao)质的(de)(de)(de)(de)(de)进囗的(de)(de)(de)(de)(de)护肤品(pin),保(bao)证做到高(gao)(gao)安全性能、免运营维护,从而提(ti)升(sheng) 了(le)设(she)施产品(pin)的(de)(de)(de)(de)(de)稳定(ding)可(ke)信度(du)。 本设(she)施具(ju)体面对(dui)(dui)试验和(he)中试♑奈(nai)米材料种(zhong)子发芽期和分离纯化(hua)(hua)便(bian)用,时该设(she)施设(she)备(bei)能用在(zai)碳奈(nai)米管🅺的(de)种(zhong)子发芽期。可分离纯化(hua)(hua)出优质(zhi)量水平的(de)乳白(bai)色导电膜,做(zuo)为华(hua)为手机触屏屏,板式电脑(nao)上,传感器等领域(yu)。

 

技术应用参数表

 

最(zui)多环境(jing)温(wen)度

1200

运用工作温(wen)度

≤1100

炉膛(tang)有效果(guo)外形尺寸(cun)

Φ25/Ø50/Ø60/Ø80/Ø100*2000mm(各管经(jing)可(ke)以)

炉膛(tang)建(jian)筑材料

腐(fu)蚀铝(lv)、气温玻纤(xian)包装材料

铂热电阻(zu)品类

K型(xing)铂(bo)热电阻

控(kong)温表面(mian)粗糙度

±1

控温的方式

30段可程序设计控温,PID技术指标(biao)自(zi)整定,运行(xing)页面为10”工业自动化手机,内部(bu)设置(zhi)PLC操纵程(cheng)(cheng)序流程(cheng)(cheng)流程(cheng)(cheng),可将(jiang)恒温软件(jian)系统、阻尼(ni)滑轨炉翻(fan)转(耗时和路(lu)程𝔉(cheng)(cheng))制定为程(cheng)(cheng)序流程(cheng)(cheng)流程(cheng)(cheng)操纵。

进行(xing)加热高(gao)度

200+200+200mm(600mm

恒温性比较好高度

400mm

进(jin)行加热工(gong)件

电阻功率丝

供电公司24v电源(yuan)

三相变(bian)频器,220V50Hz

 

2、PErf射频电源开关

 

移动信号频(pin)带宽度

13.56 MHz±0.005%

公率(lv)转换的范围

0W~500W

最多反射面额定功率

100W

微波(bo)射频传输电源接口

50 Ω, N-type, female

电机功率安稳度(du)

≤5W

谐波信噪比

≤-50dbc

供水电流

单(dan)相(xiang)电交流(liu)学习(xi)(187V-253V) 概(gai)率50/60HZ

整套装置能力

>=70%

功效条件(jian)

>=90%

待冷却的方法(fa)

强制性风冷(leng)

   

3、三路质子流(liu)量的管控(kong)软(ruan)件(jian)系统

 

相连接头品类(lei)

双(shuang)卡套(tao)不锈钢材质(zhi)直接头

的标准示值(N2)

50sccm,1🃏00sccm、500sccm(可按照移(yi)动用户请(qing)求(qiu)个性(xing)定制)

为准度

±1.5%F.S

非线性

±1%F.S

多次(ci)重复(fu)准确度

±0.2%F.S

为了(le)响(xiang)应(ying)時间

气优点:1~4 Sec,电优点:10 Sec

的(de)工作压(ya)力范(fan)围之内

0.1~0.5 MPa

较大压力值(zhi)

3MPa

插(cha)孔

Φ6,1/4''

显现

4十位(wei)数字彰显

业务工作环(huan)境摄氏度

5~45高纯其他(ta)气体(ti)

重压(ya)高压(ya)气表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

结束阀

Φ6

国内外(wai)双抛不(bu)锈304不(bu)锈钢钢管

Φ6

 

4、低真空(kong)体空(kong)气能热(re)泵机组

   

新鲜空气相对而言内部含水率

≤85%

运转氛围

5℃~40℃

事情(qing)电工作电压

220V±10% 50~60HZ

耗油(you)率

1KW

抽(chou)气(qi)传送速度(du)

10m³/h

超凡真空度

5X10-1Pa

本(ben)职工作压差位置

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐冲击值

0.03MPa

容加油量

1.1L

进气口(kou)通径

KF25

排气阀口口经(jing)

KF25

空调噪声

50dB

相连(lian)方式英文

用于(yu)波浪管,自动改手动隔板阀与波浪管相联


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