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双温区PECVD系统 BTF-1200C-II-PECVD/BTF-1200C-II-SL-PECVD

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双温区PECVD系统 BTF-1200C-II-PECVD/BTF-1200C-II-SL-PECVD

  • 详细介绍
主要特点
 
   400℃揭开(kai)式真(zhen)空泵(beng)(beng)泵(beng)(beng)发(fa)动机(ji)发(fa)动机(ji)预热(re)(re)管式炉(lu)不(bu)(bu)光(guang)是(shi)是(shi)需要(yao)延长(zhang)热(re)(re)交互效能(neng),降低发(fa)热(re)(re)量耗损的(de)那(nei)种(zhong)发(fa)动机(ji)发(fa)动机൩(ji)预热(re)(re)机(ji) ,也是(shi)需要(yao)做为1000℃小(xiao)型(xing)的(de)受(shou)热(re)(re)炉(lu)对其进(jin)行抽真(zhen)空泵(beng)(beng)泵(beng)(beng),出气氛测试(shi);受(shou)热(re)(re)区(qu)的(de)长(zhang)度(du)(du)100mm,恒温(wen)恒湿区(qu)60mm;炉(ღlu)管工件(jian)横穿与两排各8组出口功(gong)率电阻丝的(de)炉(lu)膛,温(wen)场均衡,内(nei)部因素和(he)温(wen)度(du)(du)控制制在3度(du)(du)作用。滑轨(gui)式PECVD系(xi)统(tong)(tong)能(neng)使整个实验腔(qiang)体都处于辉光(guang)产生区(qu),辉光(guang)均匀(yun)等效,这(zhei)种(zhong)技术很(hen)好(hao)的(de)解(jie)决了(le)传统(tong)(tong)等离子(zi)工作不(bu)(bu)稳定状态,这(zhei)样离子(zi)化的(de)范围和(he)强度(du)(du)是(shi)传统(tong)(tong)PECVD的(de)百(bai)倍,并(bing)解(jie)决了(le)物料不(bu)(bu)均匀(yun)堆积现(xian)象。
 
  1.与过去CVD系统软件有点,产生气温更低。
 
  2.选用阻尼滑轨炉确保迅速的升温润室内降温。
 
  3.设配独有的zhuanli技术性使用整管辉光不规则等效,不规则种植。
 
 

 技术参数

 
        
 
          
             
主要参数:BTF-400C
工作的溫度:350℃
最高的人工作温度:400℃
非常快降温数率:30℃/min
安利增温时延:10℃/min
控温措施:智慧化30段可程序语言管控
业务端电压:AC220 V
特殊输出:800W
控温精度等级:±1℃
受热零件:热敏电阻丝
 
 
 
           蒸汽热处理炉
        
 
技木参数指标:                                                  
额定功率额定功率(KW):3
特殊电阻(V):AC220v  50/60 Hz
最高的人工作温度(℃):1200(1 hour)
持续不断运转体温(℃):1100
回温速率单位(℃/min):≤50
炉管面积(mm):
高纯熔融石英管Φ50×1200mm
烧水区大小(mm):440mm
恒温器区高度(mm):200mm  
控温手段:模糊不清PID调理和自整定调理,智力化30段可编程管理器序调理,都具有超温柔断偶警告实用功能                                                   
控温的精密度(℃):±1
烧水构件:内阻丝
 
 
 
    
 
净重:35Kg                                                  
形态规格尺寸:600x600x650mm
相连直接头内型:双卡套不锈钢板直接头。
标分度值(N2):100sccm、200sccm (可依据顾客耍求开发)
为准度:±1.5%
线型:±0.5~1.5%
从复控制精度:±0.2%
相应耗时:气性能指标:1~4 Sec,电性能指标:10 Sec
运作压差大比率:0.1~0.5 MPa
最主要工作压力:3MPa
接口类型:Φ6,1/4''
展示:4六位数字展示
的工作区域室温:5~45高纯空气             
国内外双抛不锈无缝钢管:Φ6
负担蒸空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 
截止期阀:Φ6                                                                                 
     
 
       
                 
能力主要参数:
冷空气对比气温≤85%,
操作电直流电压:220V±10%  50~60HZ 
功效:1kw
抽气速率单位:10m³/H
终极负压:4X10-2Pa
试验真空体度:1.0X10-1Pa
容油位:1.1L
进气口直径:KF25
排气阀门口孔径:KF25
转速比:1450rpm
燥声:50dB
外表寸:600×600×600mm                        
 
          射频电源
讯号工作频率:13.56MHz±-0.005%
rf射频瓦数输入输出空间:5W-500W
最明显折射效率:200W
微波射频输出电压端口:50Ω。N-type,female
电率安稳度:±0.1%
谐波权重:≤-50dbc
电力电压电流:二相50/60Hz 220v±10%
整个机器工作效率:>=70%
工作效率关键因素:>=90%
空气冷却习惯:强制性风冷    


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