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成都高温CVD系统

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成都高温CVD系统

  • 详细介绍

型号:BTF-1700C-CVD

设备特点:

 

此(ci)款1700℃高(gao)溫CVD控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)软(ruan)件的(de),是(shi)由1700度管式炉(lu)、三路线质(zhi)理流(liu)量数(shu)据计控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)软(ruan)件的(de)或国产图片高(gao)真(zhen)(zhen)空环(huan)保(bao)(bao)泵(beng)(beng)(beng)箱控(kong)(kong)制(zhi)💮(zhi)(zhi)软(ruan)件的(de)(或配置低(di)真(zhen)(zhen)空环(huan)保(bao)(bao)泵(beng)(beng)(beng)箱控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)软(ruan)件的(de))所組成(cheng)。此(ci)设配具体用作(zuo):真(zhen)(zhen)空环(huan)保(bao)(bao)泵(beng)(beng)(beng)箱或工作(zuo)氛(fen)围焙烧、基片镀膜等等等必须煮沸平(ping)均温度较高(gao)的(de)实验设计室环(huan)保(bao)(bao). 设配方法(fa)旺盛期、线质(zhi)理正(zheng)规(gui),温场均匀的(de),节构有效率,气路选取液(ye)晶拼接屏(ping)屏(ping)摸方法(fa)界(jie)面,使方法(fa)错误简洁明了、不便(bian);设配的(de)一(yi)项方法(fa)基本参数(shu),30段可程序编写(xie)温度控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)软(ruan)件的(de)还有了然(ran)于(yu)胸,使全实验设计室的(de)运(yun)作(zuo)心态尽在(zai)您的(de)掌握之时。

 
     

 

加熱区因素:

炉管长宽(kuan)比:Φ60/80×1000mm(通径自选)

受热元器件:硅钼棒

加热区长度:300mm
恒温区长度:150mm
工作温度:1550℃
高温度:1650℃
控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能
控温精度:±1℃

推荐升温速度: 1400℃以下≤10℃/min,1400℃到1600℃≤5℃/min
工作电源:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

电(dian)机额定工作电(dian)压工作电(dian)压:5.2 KW

外观尺寸规格:610×440×720 mm

规定备件:高纯1支,2对,1套,2套,1副,1支,小人身险1个;

密封(feng)胶(jiao)设备:炉管(guan)两端要💟配(pei)不锈钢(gang)材质的(de)密封(feng)胶(jiao)活套法兰(其中(zhong)包括(kuo)紧密针阀,指南式抽真空的(de)燃气压力表和塑(su)料软管(guan)式宝(bao)塔嘴线接头(tou))

端口(kou)设置可按实践应用突出。

 

 

 

 

 

 

 

气路系统参数:

 

质量流量计参考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm (量程可选)

准确度(du):±1.5%

线性(xing):±0.5~1.5%

重复精度:±0.2%

响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

工(gong)作压差范(fan)围:0.1~0.5 MPa

大压(ya)力:3MPa

接(jie)口:Φ6,1/4''

显示:4位(wei)数字显示

工作环𝕴境(jing)温度:5~45高纯气体             

内外双(shuang)抛(pao)不锈(xiu)钢(gang)管:Φ6

压力真空(kong)表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止(zhi)阀:Φ6

线接头类型(xing)、:双卡套不(bu)透(tou)钢线接头。

可选配一路、两路、三路、四路、五路等以上质量流量计。

 

 

 

 

 

 

 

低真空系统参数:

 

国內助力泵规(gui)格型号(hao):BSV-10

抽速:10m³/h

极限真空度:5*10-1pa

供电:220v 50hz

马(ma)达公率:0.4kw  

进改装排(pai)气管对接(jie)口:KF25

用加油量:1.1L

电动(dong)机(ji)发动(dong)机(ji)转速:1440rpm

上(shang)班区域环(huan)境温差:5-40℃

燥声:≤56db

电阻真空计参数:

1.配些规(gui)(gui)管:ZJ-52T阻值(zhi)规(gui)(gui),

2.测量范围: 10 5 ~10 -1 Pa,

3.衡量路数: 1路

4.控制范围: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

5.保持原则(ze):继电嚣(xiao)接触点的输出,电动机扭矩水平(ping) AC220V/3A (或𝓰DC2ꦡ8V/3A)无感觉(jue)电动机扭矩,

6.电(dian): 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

7.输出功率: 20W

运用水双(shuang)壁波纹管(guan)一键挡片阀与重力作(zuo)用程序连结接。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

高真空系统参数:

 

空气质量(liang)相对(dui)应温度(du)湿度(du):≤85%

运(yun)行交流(liu)电压(ya):AC220V±10%  50/60HZ

功效:1KW

系统整体极限真空度:10-5Pa

实验真空度:10-3Pa

形壮尺寸:850×600×650mm

机械泵:

抽气频(pin)率:10m³/h

容容量:1.1L

变频(pin)电动机工作效率:400W

极限压强:6×10-2Pa

分子泵:

抽气数率:100L/S

极限压强:6×10-6Pa

开机(ji)事件:<2min

额定的转速比:4300转/分

冷凝方案:区域的(de)温度5-32℃时,风冷;5-40℃时,水冷散热器(qi)。

分子泵控制器:

的电压:220V±22V

启动的(de)电流大小:≤7A

显示(shi)频段:47HZ—63HZ

大导出效率:≤150W

大加快(kuai)工作电(dian)压(ya):≤40V

速度时光(guang):≤3min

频点(双速):迅(xun)速705HZ±10HZ

      &🉐nbsp;      低速行驶(shi)430HZ±5HZ

复合真空计:

检测的路数:2路(电阻(zu)器规(gui)(gui)、电离规(gui)(gui)各1路)

办公(gong)形式 :半会(hui)自动/会(hui)自动

功率电阻标段指标

规管款(kuan)式(shi):ZJ-52T功率电阻规

测量范围:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

有效范围:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

控制范围:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

电(dian)离单元(yuan)尺(chi)寸性能指标

规(gui)管类型:ZJ-27电离规(gui)

可测范围:5.0Pa~1.0×10-5Pa

有效范围:1.0Pa~5.0×10-5Pa

控制范围:1.0Pa~5.0×10-5Pa

规管除气形(xing)式(shi):焦耳去气

其它的主要参数

控制路数:4路

抑🎉(yi)制(zhi)方(fang)法:点(dian)动或区城抑(yi)制(zhi)/带(dai)掉电遗忘

把(ba)控好高精(jing)准度:±1%

取样准确时间:1S

交流电源:220V±10% 50HZ

额定功率:50W

实(shi)用生活环境温暖:0℃~45℃

湿球温度:≤85%

对接内部管道:

采用全不锈钢,电抛光制作,零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s

选(xuan)用波浪纹管全自动档板阀与真空环境体系连(lian)结接。

 

 

 备注:

 

可根据工艺要求选配低真空或高真空系统。


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