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达州高温CVD系统

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达州高温CVD系统

  • 详细介绍

型号:BTF-1700C-CVD

设备特点:

 

此款(kuan)1700℃较(jiao)高(gao)湿度(du)CVD系(xi)(xi)統(tong)(tong)软(ruan)件(jian)的(de)(de)(de)(de),是(shi)由1700度(du)管式炉、三路线性(xing)能(neng)(neng)手机(ji)超(chao)声波(bo)流量计(ji)(ji)系(xi)(xi)統(tong)(tong)软(ruan)件(jian)的(de)(de)(de)(de)以其國(guo)產高(gao)机(ji)械泵室系(xi)(xi)統(tong)(tong)软(ruan)件(jian)的(de)(de)(de)(de)(或选(xuan)购低机(ji)械泵室系(xi)(xi)統(tong)(tong)软(ruan)件(jian)的(de)(de)(de)(de))所(suo)成分。此设(she)施环(huan)保产(chan)(chan)(chan)(chan)品(pin)(pin)一般应用于(yu):机(ji)械泵室或紧张感(gan)烧结(jie)法、基片电镀(du)等(deng)的(de)(de)(de)(de)要求升温(wen)湿度(du)较(jiao)高(gao)的(de)(de)(de)(de)工作(zuo)情况. 设(she)施环(huan)保产(chan)(chan)(chan)(chan)品(pin)(pin)技(ji)术(shu)水平产(chan)(chan)(chan)(chan)品(pin)(pin)完(wan)善(shan)、线性(xing)能(neng)(neng)靠得住(zhu),温(wen)场饱满,结(jie)构设(she)计(ji)(ji)科学,气路选(xuan)取显示屏(ping)屏(ping)触(chu)摸屏(ping)接口,能(neng)(neng)让方法异常的(de)(de)(de)(de)简略、不便;设(she)施环(huan)保产(chan)(chan)(chan)(✃chan)品(pin)(pin)的(de)(de)(de)(de)贴心(xin)的(de)(de)(de)(de)售后(hou)服务技(ji)术(shu)水平产(chan)(chan)(chan)(chan)品(pin)(pin)参数表,30段可java开发恒温(wen)系(xi)(xi)統(tong)(tong)软(ruan)件(jian)的(de)(de)(de)(de)更要了然于(yu)胸,使大部分工作(zuo)的(de)(de)(de)(de)执(zhi)行(xing)心(xin)态(tai)尽(jin)在您的(de)(de)(de)(de)驾驭当中。

 
     

 

升温区运作:

炉管长(zhang)宽(kuan)高:Φ60/80×1000mm(管道(dao)直径必选)

供暖电子器件:硅钼棒

加热区长度:300mm
恒温区长度:150mm
工作温度:1550℃
高温度:1650℃
控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能
控温精度:±1℃

推荐升温速度: 1400℃以下≤10℃/min,1400℃到1600℃≤5℃/min
工作电源:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

工(gong)作功(gong)率工(gong)作功(gong)率:5.2 KW

外形长度:610×440×720 mm

标准单位配件网:高纯1支,2对,1套,2套,1副,1支,小商业险1个;

隔绝(jue)系统的:炉管两端要配(pei)铝(lv)合金(jin)隔绝(jue)活套法兰(是指高精密针阀,游针式(shi)抽(chou)真(zhen)空心理电接(jie)点压力(li)表和排水管式(shi)宝(bao)塔(ta)嘴🐠线(xian)接(jie)头(t♛ou))

网络端口可按实际效果的(de)使用(yong)寻(xun)址。

 

 

 

 

 

 

 

气路系统参数:

 

质量流量计参考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm (量程可选)

准确度:±1.5%

线性:±0.5~1.5%

重(zhong)复(fu)精度:±0.2%

响应时间:气(qi)特(te)性:1~4 Sec,电(dian)特(te)性:10 Sec

工作压差范围(wei):0.1~0.5 MPa

大压力:3MPa

接口:Φ6,1/4''

显(xian)示:4位数字显(xian)示

工作(zuo)环境温度:5~45高🥂纯气体        𒅌;     

内外双抛不锈钢管(guan):Φ6

压力(li)真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀:Φ6

管(guan)(🧸guan)接头类型(xing)、:双卡套(tꦡao)不透钢(gang)管(guan)(guan)接头。

可选配一路、两路、三路、四路、五路等以上质量流量计。

 

 

 

 

 

 

 

低真空系统参数:

 

国內油阀尺(chi)寸:BSV-10

抽速:10m³/h

极限真空度:5*10-1pa

电源(yuan)模块:220v 50hz

电机马达(da)工率:0.4kw  

进排气阀(fa)无线连接口:KF25

用油耗:1.1L

电动机转速比(bi):1440rpm

岗位大环境(jing)温(wen)差:5-40℃

低频(pin)噪音:≤56db

电阻真空计参数:

1.适用规(gui)管:ZJ-52T阻(zu)值规(gui),

2.测量范围: 10 5 ~10 -1 Pa,

3.测定路数: 1路

4.控制范围: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

5.掌控习惯:继家用电(dian)(dian)器(qi)大电(dian)(dian)流(liu)继电(dian)(dian)器(qi)输出(chu)电(dian)(dian)压,环(hu🐻an)境(jing)下(xia)效率 AC220V/3A (或DC28V/3A)没什么感觉环(huan)境(jing)下(xia),

6.开关电源(yuan): 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

7.能耗: 20W

分(𝓡fen)为(wei)纹线管人工手(shou)动开(kai)启(qi)机组侧板阀(fa)与真(zhen)空系(xi)统(tong)化(hua)系(xi)统(tong)化(hua)相互连接方式接。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

高真空系统参数:

 

大气(qi)对于空气(qi)湿度:≤85%

运转交流电压:AC220V±10%  50/60HZ

最大功率:1KW

系统整体极限真空度:10-5Pa

实验真空度:10-3Pa

外观(guan)简(jian)约(yue)时尚(shang)宽𝓰(kuan)度:850🍸×600×650mm

机械泵:

抽气带宽:10m³/h

容油表:1.1L

变频电动机功效:400W

极限压强:6×10-2Pa

分子泵:

抽气(qi)传送速(su)度:100L/S

极限压强:6×10-6Pa

打(da)火的(de)时间:<2min

电机额(e)定功率转(zhuan)速比(bi):4300转(zhuan)/分(fen)

一系列冷却策(ce)略:室内环境温湿度5-32℃时,风(feng)冷;5-40℃时,散热。

分子泵控制器:

电(dian)流:220V±22V

再启动电压:≤7A

输(shu)进帧率(lv):47HZ—63HZ

大传输电率(lv):≤150W

大(da)速(su)度工作(zuo)电(dian)压(ya):≤40V

迅速(su)时间(jian)段:≤3min

帧(zhen)率(双速(su)):高速(su)路705HZ±10HZ

&🐲nbsp;     &nꦡbsp;      慢速430HZ±5HZ

复合真空计:

量(liang)测路(lu)数:2路(lu)(热(re)敏电阻规、电离规各1路(lu))

上班模式(shi)切换:手动式(shi)/定时

功率电(dian)阻模快性能指标

规管(guan)类型(xing):ZJ-52T阻值规

测量范围:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

有效范围:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

控制范围:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

电离单元式基本参数

规(gui)管型(xing)号规(gui)格:ZJ-27电离规(gui)

可测范围:5.0Pa~1.0×10-5Pa

有效范围:1.0Pa~5.0×10-5Pa

控制范围:1.0Pa~5.0×10-5Pa

规管(guan)除气(qi)途径:焦耳去气(qi)

另一数据

掌握路数:4路

操纵策(ce)略:点动(dong)或(huo)空间区域(yu)操纵/带(dai)掉电记忆法(fa)

调整精密度:±1%

采集日子:1S

电源线:220V±10% 50HZ

功耗测试:50W

实(shi)用氛围温湿度:0℃~45℃

气温:≤85%

接入聚氨酯保温管:

采用全不锈钢,电抛光制作,零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s

利用水纹管半自动挡片阀(fa)与高压气控制系统相拼接(jie)接(jie)。

 

 

 备注:

 

可根据工艺要求选配低真空或高真空系统。


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