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绵阳高温CVD系统

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绵阳高温CVD系统

  • 详细介绍

型号:BTF-1700C-CVD

设备特点:

 

此(ci)(ci)款1700℃持续高温CVD系統(tong)化(hua),是由(you)1700度(du)(du)管(guan)式(shi)炉、三路服务(wu)(wu)高质(zhi)量客超声(sheng)波流量计系統(tong)化(hua)或(huo)(huo)是国产车高负(fu)压模(mo)式(shi)系統(tong)化(hua)(或(huo)(huo)加装音响(xiang)低负(fu)压模(mo)式(shi)系統(tong)化(hua))所(suo)形(xing)成(cheng)。此(ci)(ci)装置(zhi)(zhi)注(zhu)意(yi)用(yong)(yong)以:负(fu)压模(mo)式(shi)或(huo)(huo)节日(ri)气氛烧(shao)结工艺(yi)、基片(pian)电镀等(deng)规范(fan)要求热处理加热湿度(du)(du)较高的实验(yan)操(cao)作(zuo)报(bao)(bao)告(gao)学(xue)习(xi)环境. 装置(zhi)(zhi)技術(shu)成(cheng)熟(shu)稳定(ding)、服务(wu)(wu)高质(zhi)量信得过,温场(chang)不匀,组成(cheng)节省,气路适(shi)用(yong)(yong)教学(xue)液晶显示(shi)触屏游戏界面(mian),随着(zhe)操(cao)控异常的简(jian)(ji෴an)短(duan)、方便简(jian)(jian)洁(jie);装置(zhi)(zhi)的贴心(xin)的售后(hou)服务(wu)(wu)技術(shu)数据,30段(duan)程序控制(zhi)器序温度(du)(du)控制(zhi)器系統(tong)化(hua)更多(duo)的是简(jian)(jian)洁(jie)明了,使这个实验(yan)操(cao)作(zuo)报(bao)(bao)告(gao)的运动阶段(duan)尽(jin)在您(nin)的把握(wo)之时。

 
     

 

预热区参数值:

炉管外(wai)形尺(chi)寸:Φ60/80×1000mm(管道(dao)直径可以)

采暖器(qi)电子器(qi)件:硅钼棒(bang)

加热区长度:300mm
恒温区长度:150mm
工作温度:1550℃
高温度:1650℃
控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能
控温精度:±1℃

推荐升温速度: 1400℃以下≤10℃/min,1400℃到1600℃≤5℃/min
工作电源:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

额(e)定负载输出功率:5.2 KW

外(wai)貌长(zhang)度(du):610×440×720 mm

标准化陪件:高纯1支,2对,1套,2套,1副,1支,小保费1个;

密封(feng)胶隔(ge)绝(jue)控(kong)制系统:炉(lu)管两端(duan)配带铝合金密封(feng)胶隔(ge)绝(jue)蝶阀法(fa)兰(涉及细𓆉密针阀,表针式真(zhen)空度重压表和高压软(ruan)管式宝塔嘴线接ꦕ(jie)头)

接口可按实际效果适用(yong)拓展。

 

 

 

 

 

 

 

气路系统参数:

 

质量流量计参考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm (量程可选)

准确(que)度:±1.5%

线(xian)性:±0.5~1.5%

重复精度(du):±0.2%

响应时间:气特(te)性:1~4 Sec,电特(te)性:10 Sec

工(gong)作压(ya)差范围:0.1~0.5 MPa

大压(ya)力(li):3MPa

接口:Φ6,1/4''

显示:4位数字显示

工作环境温度:5~45高纯气体 🍌✨            

内外双抛不(bu)锈(xiu)钢管:Φ6

压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀:Φ6

衔线接头形式:双卡套(tao)不锈钢材质线接头。

可选配一路、两路、三路、四路、五路等以上质量流量计。

 

 

 

 

 

 

 

低真空系统参数:

 

国内自主研(yan)发(fa)液压油泵具体型号:BSV-10

抽速:10m³/h

极限真空度:5*10-1pa

24v电(dian)源:220v 50hz

电(dian)机马达工作(zuo)效率(lv):0.4kw  

进res排(pai)气接入口:KF25

用加油量:1.1L

交流电动(dong)(dong)机转动(dong)(dong)速度:1440rpm

办公的(de)环境工作温度:5-40℃

嘈音:≤56db

电阻真空计参数:

1.选用规管:ZJ-52T电(dian)阻值规,

2.测量范围: 10 5 ~10 -1 Pa,

3.检测的路数: 1路

4.控制范围: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

5.掌控习惯(guan):继电热器触(chu)点开关读取,额(e)(e)定额(e)(e)定负载(zai)力量(♏liang) AC220V/3A (或DC28V/3A)无感觉额(e)(e)定额(e)(e)定负载(zai),

6.交流(liu)电源(yuan): 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

7.输出功率(lv): 20W

分为纹线管自动改手动隔板阀与(yu)抽真空体系相通接。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

高真空系统参数:

 

气体(ti)相(xiang)对于(yu)湿球(qiu)温度:≤85%

工(gong)做电流值(zhi):AC220V±10%  50/60HZ

功效:1KW

系统整体极限真空度:10-5Pa

实验真空度:10-3Pa

形壮宽(kuan)度:850×600×650mm

机械泵:

抽气传(chuan)送速度:10m³/h

容油表:1.1L

电机的公率:400W

极限压强:6×10-2Pa

分子泵:

抽气(qi)传输速(su)率:100L/S

极限压强:6×10-6Pa

发动(dong)时间段(duan):<2min

额定(ding)功率轉(zhuan)速:4300转/分

水冷(leng)式(shi)෴(shi)却模式(shi)(shi):区(qu)域环境室温5-32℃时,风冷(leng);5-40℃时,水冷(leng)式(shi)(shi)。

分子泵控制器:

工作电压:220V±22V

重启交流电:≤7A

输进频次:47HZ—63HZ

大(da)所(suo)在耗(hao)油(you)率(lv):≤150W

大(da)加速器电流:≤40V

高速(su)度时(shi)期:≤3min

平(ping)率(双速):高705HZ±10HZ

             底速430🃏HZ±5HZ

复合真空计:

侧量路(lu)数(shu):2路(lu)(电容规(gui)、电离规(gui)各1路(lu))

上(shang)班形式 :自動/自行

功率电阻模快运作

规管规格(ge):ZJ-52T热敏电阻规

测量范围:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

有效范围:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

控制范围:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

电离模快数据

规(gui)管规(gui)格型号:ZJ-27电(dian)离规(gui)

可测范围:5.0Pa~1.0×10-5Pa

有效范围:1.0Pa~5.0×10-5Pa

控制范围:1.0Pa~5.0×10-5Pa

规(gui)管(guan)除(chu)气方(fang)式:焦耳去气

其他的参数值

抑制路数:4路

调整(zheng)玩(wan)法:点动或(huo)🐻地域调整(zheng)/带掉(diao)电记忆英(✨ying)文

调控精确:±1%

取样准确时间:1S

电(dian)源开关:220V±10% 50HZ

功能消耗:50W

食用环(huan)镜(jing)摄氏度:0℃~45℃

湿球温度:≤85%

连接方式蒸汽管道:

采用全不锈钢,电抛光制作,零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s

运用波线(xian)管手(shou)动(dong)式挡(dang)条(tiao)阀与真空整(zheng)体(ti)(ti)整(zheng)体(ti)(ti)连(lian)接方式起(qi)来(lai)接𓆏。

 

 

 备注:

 

可根据工艺要求选配低真空或高真空系统。


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