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自贡高温CVD系统

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自贡高温CVD系统

  • 详细介绍

型号:BTF-1700C-CVD

设备特点:

 

此款1700℃温湿度(du)高(gao)CVD装(zhuang)置(zhi)(zhi),是由1700度(du)管式炉(lu)、三路安(an)全(quan)性(xing)能流(liu)量的(de)(de)计装(zhuang)置(zhi)(zhi)各类国内生(sheng)产的(de)(de)高(gao)正(𒀰zheng)空装(zhuang)置(zhi)(zhi)(或配选低正(zheng)空装(zhuang)置(zhi)(zhi))所组成(cheng)(cheng)部分。此生(sheng)产机械(xie)设(she)配基本采用:正(zheng)空或气体辊道窑(yao)、基片渡(du)膜等让热处理(li)加热温湿度(du)较高(gao)的(de)(de)实践所场景. 生(sheng)产机械(xie)设(she)配新(xin)工(gong)艺成(cheng)(cheng)熟(shu)稳重、安(an)全(quan)性(xing)能正(zheng)规,温场透亮,结构设(she)计正(zheng)确,气路采用液晶面(mian)板屏触感接面(mian),致使(shi)操作使(shi)用失败轻松(song)、快捷(jie);生(sheng)产机械(xie)设(she)配的(de)(de)各个(ge)新(xin)工(gong)艺运作,30段可和程序编写温控仪装(zhuang)置🤡(zhi)(zhi)也了然于胸,使(shi)一(yi)个(ge)实践所的(de)(de)工(gong)作阶(jie)段尽在您的(de)(de)把(ba)握里面(mian)。

 
     

 

受热区规格:

炉管大小:Φ60/80×1000mm(管经可选择)

加水电气元件:硅钼棒

加热区长度:300mm
恒温区长度:150mm
工作温度:1550℃
高温度:1650℃
控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能
控温精度:±1℃

推荐升温速度: 1400℃以下≤10℃/min,1400℃到1600℃≤5℃/min
工作电源:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

额定(ding)容量(liang)工作电压(ya):5.2 KW

外观尺寸规格:610×440×720 mm

的标准陪件:高纯1支,2对,1套,2套,1副,1支,小保费1个;

密(mi)(mi)封盖(gai)🍃胶(jiao)系(xi)统化:炉管(guan)两端要配不(bu)銹钢密(mi)(mi)封盖(gai)胶(jiao)法(fa)兰盘(包涵细(xi)密(mi)(mi)针(zhen)阀,表(biao)针(zhen)式高压(ya)气(q🎶i)工(gong)作(zuo)燃气(qi)压(ya)力表(biao)和橡胶(jiao)软管(guan)式宝塔嘴金属接头(tou))

串口(kou)可(ke)按事实选用发展。

 

 

 

 

 

 

 

气路系统参数:

 

质量流量计参考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm (量程可选)

准(zhun)确(que)度:±1.5%

线性:±0.5~1.5%

重复精度:±0.2%

响(xiang)应时间(jian):气特性(xing):1~4 Sec,电特性(xing):10 Se♋c

工作压差范围:0.1~0.5 MPa

大压力:3MPa

接口(kou):Φ6,1/4''

显示(shi)(shi):4位(wei)数字显示(shi)(shi)

工作(zuo)环境温度(du🍰):5~45高纯(chun)气体             

内外双抛(pao)不锈钢管:Φ6

压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀:Φ6

接(jie)触头(tou)结构类型:双卡(ka)套(tao)不锈钢管直接(jie)头(tou)。

可选配一路、两路、三路、四路、五路等以上质量流量计。

 

 

 

 

 

 

 

低真空系统参数:

 

国产(chan)图片高压油泵(beng)型(xing)號:BSV-10

抽速:10m³/h

极限真空度:5*10-1pa

电源适配器(qi):220v 50hz

交流电(dian)动(dong)机电(dian)功(gong)率:0.4kw  

进改装(zhuang)排(pai)气管连(lian)入口:KF25

用油情况:1.1L

电动机转速比(bi):1440rpm

上班生活室内(nei)温度(du)因素(su):5-40℃

嗡嗡声:≤56db

电阻真空计参数:

1.通用规管:ZJ-52T电容规,

2.测量范围: 10 5 ~10 -1 Pa,

3.測(ce)量路(lu)数: 1路(lu)

4.控制范围: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

5.把控手(shou)段:继设备接触点输出精(jin💯g)度,过载(zai)学习ﷺ能力(li) AC220V/3A (或(huo)DC28V/3A)没什么感觉过载(zai),

6.电(dian)源线: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

7.功(gong)能消耗(hao): 20W

选用(yong)水纹管(guan)半自动挡片阀与抽真(zhen)空体统接(jie)入接(jie)。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

高真空系统参数:

 

空气当中相对而(er)言温湿度:≤85%

事业功耗:AC220V±10%  50/60HZ

工率:1KW

系统整体极限真空度:10-5Pa

实验真空度:10-3Pa

形(xing)状长(zhang)度:850×600×650mm

机械泵:

抽(chou)气频率(lv):10m³/h

容油:1.1L

交(jiao)流接触器工作功率:400W

极限压强:6×10-2Pa

分子泵:

抽气传输速(su)率:100L/S

极限压强:6×10-6Pa

重启(qi)时段:<2min

功率钻速(su):4300转/分(fen)

冷(leng)(leng)去(🌺qu)具(ju)体方法:室内环境气温5-32℃时(shi),风(feng)冷(leng)(leng);5-40℃时(shi),油冷(leng)(le๊ng)。

分子泵控制器:

电压降:220V±22V

通电(dian)感应(ying)电(dian)流:≤7A

手机输入频(pin)次:47HZ—63HZ

大输(shu)出精度电率:≤150W

大促(cu)使电阻:≤40V

速(su)度时(shi)刻(ke):≤3min

频繁 (双速(su)):迅速(su)705HZ±10HZ

   🃏;       𒆙; ;  低(di)转(zhuan)速430HZ±5HZ

复合真空计:

检测的路数:2路(电(dian)阻器(qi)规(gui)、电(dian)离(li)规(gui)各🌊(ge)1路)

工作任务方(fang)法:全自(zi)(zi)功/自(zi)(zi)功

阻值标段性能

规(gui)管具体型号:ZJ-52T阻值(zhi)规(gui)

测量范围:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

有效范围:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

控制范围:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

电离象限因素

规管尺寸:ZJ-27电离规

可测范围:5.0Pa~1.0×10-5Pa

有效范围:1.0Pa~5.0×10-5Pa

控制范围:1.0Pa~5.0×10-5Pa

规管(guan)除气(qi)习惯:焦(jiao)耳去气(qi)

一些参数表

控制路数:4路

把握原则:点动或空间(jian)把握/带掉(diao)电(dian)记(ji)性

的控制要求:±1%

取样日期:1S

开关电源:220V±10% 50HZ

工作电压:50W

选用生态环境温湿度:0℃~45℃

内部(bu)含(han)水率(lv):≤85%

联系内部管道:

采用全不锈钢,电抛光制作,零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s

应用气(qi)泡管自(zi)动(dong)挡片阀与机械泵系统接接接。

 

 

 备注:

 

可根据工艺要求选配低真空或高真空系统。


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