型号:BTF-1700C-CVD
设备特点:
此款1700℃温湿度(du)高(gao)CVD装(zhuang)置(zhi)(zhi),是由1700度(du)管式炉(lu)、三路安(an)全(quan)性(xing)能流(liu)量的(de)(de)计装(zhuang)置(zhi)(zhi)各类国内生(sheng)产的(de)(de)高(gao)正(𒀰zheng)空装(zhuang)置(zhi)(zhi)(或配选低正(zheng)空装(zhuang)置(zhi)(zhi))所组成(cheng)(cheng)部分。此生(sheng)产机械(xie)设(she)配基本采用:正(zheng)空或气体辊道窑(yao)、基片渡(du)膜等让热处理(li)加热温湿度(du)较高(gao)的(de)(de)实践所场景. 生(sheng)产机械(xie)设(she)配新(xin)工(gong)艺成(cheng)(cheng)熟(shu)稳重、安(an)全(quan)性(xing)能正(zheng)规,温场透亮,结构设(she)计正(zheng)确,气路采用液晶面(mian)板屏触感接面(mian),致使(shi)操作使(shi)用失败轻松(song)、快捷(jie);生(sheng)产机械(xie)设(she)配的(de)(de)各个(ge)新(xin)工(gong)艺运作,30段可和程序编写温控仪装(zhuang)置🤡(zhi)(zhi)也了然于胸,使(shi)一(yi)个(ge)实践所的(de)(de)工(gong)作阶(jie)段尽在您的(de)(de)把(ba)握里面(mian)。
受热区规格: | 炉管大小:Φ60/80×1000mm(管经可选择) 加水电气元件:硅钼棒 加热区长度:300mm 推荐升温速度: 1400℃以下≤10℃/min,1400℃到1600℃≤5℃/min 额定(ding)容量(liang)工作电压(ya):5.2 KW 外观尺寸规格:610×440×720 mm 的标准陪件:高纯1支,2对,1套,2套,1副,1支,小保费1个; 密(mi)(mi)封盖(gai)🍃胶(jiao)系(xi)统化:炉管(guan)两端要配不(bu)銹钢密(mi)(mi)封盖(gai)胶(jiao)法(fa)兰盘(包涵细(xi)密(mi)(mi)针(zhen)阀,表(biao)针(zhen)式高压(ya)气(q🎶i)工(gong)作(zuo)燃气(qi)压(ya)力表(biao)和橡胶(jiao)软管(guan)式宝塔嘴金属接头(tou)) 串口(kou)可(ke)按事实选用发展。 |
气路系统参数:
| 质量流量计参考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm (量程可选) 准(zhun)确(que)度:±1.5% 线性:±0.5~1.5% 重复精度:±0.2% 响(xiang)应时间(jian):气特性(xing):1~4 Sec,电特性(xing):10 Se♋c 工作压差范围:0.1~0.5 MPa 大压力:3MPa 接口(kou):Φ6,1/4'' 显示(shi)(shi):4位(wei)数字显示(shi)(shi) 工作(zuo)环境温度(du🍰):5~45高纯(chun)气体 内外双抛(pao)不锈钢管:Φ6 压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止阀:Φ6 接(jie)触头(tou)结构类型:双卡(ka)套(tao)不锈钢管直接(jie)头(tou)。 可选配一路、两路、三路、四路、五路等以上质量流量计。 |
低真空系统参数:
| 国产(chan)图片高压油泵(beng)型(xing)號:BSV-10 抽速:10m³/h 极限真空度:5*10-1pa 电源适配器(qi):220v 50hz 交流电(dian)动(dong)机电(dian)功(gong)率:0.4kw 进改装(zhuang)排(pai)气管连(lian)入口:KF25 用油情况:1.1L 电动机转速比(bi):1440rpm 上班生活室内(nei)温度(du)因素(su):5-40℃ 嗡嗡声:≤56db 电阻真空计参数: 1.通用规管:ZJ-52T电容规, 2.测量范围: 10 5 ~10 -1 Pa, 3.測(ce)量路(lu)数: 1路(lu) 4.控制范围: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa, 5.把控手(shou)段:继设备接触点输出精(jin💯g)度,过载(zai)学习ﷺ能力(li) AC220V/3A (或(huo)DC28V/3A)没什么感觉过载(zai), 6.电(dian)源线: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz, 7.功(gong)能消耗(hao): 20W 选用(yong)水纹管(guan)半自动挡片阀与抽真(zhen)空体统接(jie)入接(jie)。 |
高真空系统参数:
| 空气当中相对而(er)言温湿度:≤85% 事业功耗:AC220V±10% 50/60HZ 工率:1KW 系统整体极限真空度:10-5Pa 实验真空度:10-3Pa 形(xing)状长(zhang)度:850×600×650mm 机械泵: 抽(chou)气频率(lv):10m³/h 容油:1.1L 交(jiao)流接触器工作功率:400W 极限压强:6×10-2Pa 分子泵: 抽气传输速(su)率:100L/S 极限压强:6×10-6Pa 重启(qi)时段:<2min 功率钻速(su):4300转/分(fen) 冷(leng)(leng)去(🌺qu)具(ju)体方法:室内环境气温5-32℃时(shi),风(feng)冷(leng)(leng);5-40℃时(shi),油冷(leng)(le๊ng)。 分子泵控制器: 电压降:220V±22V 通电(dian)感应(ying)电(dian)流:≤7A 手机输入频(pin)次:47HZ—63HZ 大输(shu)出精度电率:≤150W 大促(cu)使电阻:≤40V 速(su)度时(shi)刻(ke):≤3min 频繁 (双速(su)):迅速(su)705HZ±10HZ  🃏;  𒆙; 低(di)转(zhuan)速430HZ±5HZ 复合真空计: 检测的路数:2路(电(dian)阻器(qi)规(gui)、电(dian)离(li)规(gui)各🌊(ge)1路) 工作任务方(fang)法:全自(zi)(zi)功/自(zi)(zi)功 阻值标段性能 规(gui)管具体型号:ZJ-52T阻值(zhi)规(gui) 测量范围:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa 有效范围:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 控制范围:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 电离象限因素 规管尺寸:ZJ-27电离规 可测范围:5.0Pa~1.0×10-5Pa 有效范围:1.0Pa~5.0×10-5Pa 控制范围:1.0Pa~5.0×10-5Pa 规管(guan)除气(qi)习惯:焦(jiao)耳去气(qi) 一些参数表 控制路数:4路 把握原则:点动或空间(jian)把握/带掉(diao)电(dian)记(ji)性 的控制要求:±1% 取样日期:1S 开关电源:220V±10% 50HZ 工作电压:50W 选用生态环境温湿度:0℃~45℃ 内部(bu)含(han)水率(lv):≤85% 联系内部管道: 采用全不锈钢,电抛光制作,零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s 应用气(qi)泡管自(zi)动(dong)挡片阀与机械泵系统接接接。 |
备注: | 可根据工艺要求选配低真空或高真空系统。 |